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盧志遠，（英文名：Chih-Yuan Lu，縮寫：C.Y. Lu，1950年－），臺灣企業家，臺灣大學物理系學士、美國哥倫比亞大學物理碩士、博士，現任旺宏電子總經理與欣銓科技董事長。

盧志遠為美國哥倫比亞大學物理博士。1977年取得博士學位后，他先任教于國立交通大學，并參贊行政院科技顧問組等。之后于1984年受聘至美國AT&T貝爾實驗室領導研究計劃5年。盧志遠至今在半導體界已有超過30年的經驗。

1989年，盧志遠受邀出任工研院電子所副所長，之后負責主持當時臺灣最大科專計劃─經濟部次微米計劃，完成臺灣DRAM獨立研發及量產技術，使臺灣具備八吋晶圓產制能力。次微米計劃于1994年衍生成立世界先進公司，盧志遠先生當時為世界先進共同創辦人及副總經理，之后于1998年升任為總經理，成為臺灣DRAM產業的重要人物。

盧志遠于1999年加入旺宏電子擔任資深執行顧問及科技總監，之后于2003年升任資深副總經理至2007年七月，盧志遠升任總經理，專注于提升旺宏創新非揮發性內存的研發技術與制造能力。他并于1999年創立晶圓測試公司欣銓科技，目前他也是欣銓科技董事長。

盧志遠已發表超過300篇論文，擁有140余項國際專利。他并獲任美國電機電子學會(IEEE)及美國物理學會(APS)院士，也膺選中華民國科技管理學會院士。盧志遠先生擔任IEEE電子元件期刊編輯長達15年，并曾獲頒2012 IEEE Frederik Philips Award、IEEE千禧杰出獎章、行政院杰出科學與技術人才獎、潘文淵文教基金會研究杰出獎、中華民國物理學會特殊貢獻獎、經濟部及中華民國全國商業總會頒予最佳商人之金商獎，以及獲選臺大杰出校友等多項榮耀。